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一、可显示压力及温度的质量流量计及控制器MFC 产品概述：
1、准确度±0.5%F.S，量程可在100：1范围内按键设定，无需标定。
2、无需预热，测量时无响应滞后。
3、ACU20FC采用无热漂移，无响应滞后的差压质量测量原理，可以同时显示和输出：瞬时流量、累计流量、压力、温
度等。
二、可显示压力及温度的质量流量计及控制器MFC 产品参数：
（如所需参数性能与下述不符，请沟通定制）
技术指标 | 高精度质量流量控制器 | 高精度质量流量计 | |
量程范围 | 2SCCM～5000SLPM | ||
测控范围 | 控制器阀控范围50:1 | 流量计量程比100:1 | |
准确度 | ±0.5%F.S（满量程） | ||
线性 | ±0.5%F.S | ||
重复精度 | ±0.2%F.S | ||
稳定性 | <±0.1%FS | ||
响应时间 | <200ms | <100ms | |
温度系数 | ±0.025%F.S/℃ | ||
工作温度 | -10～60℃ | ||
预热时间 | 30S可用，5Min达到最佳状态 | ||
工作压力 | 工作压差：0.1~0.5Mpa | 工作压降<0.01Mpa | |
最大耐压 | 3MPa/10MPa | ||
漏率 | 1×10-9SCCSHe | ||
机械部件 | 底座材质 | 不锈钢 |
接头 | φ6，φ8，φ10，1/2"...快插、卡套、法兰安装等 | |
密封材质 | 氟橡胶，氯丁橡胶，丁腈橡胶，乙丙橡胶等 | |
外壳防护等级 | IP40 | |
安装位置 | 水平安装、垂直（下进上出） |
电气性能 | 单色LED显示屏 | 同时显示流量、设定 |
电气连接 | DB15孔, RJ11, 5.5×2.1电源快插 | |
显示状态 | 带液晶显示、不带液晶显示 | |
数字量 | RS232/485，MODBUS等协议 | |
模拟量 | 0～5V、4-20mA、1-5V | |
供电 | ±15VDC，24VDC,220VDC（转接） |
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