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半导体设备电子气体质量流量计及流量控制器

简要描述:半导体设备电子气体质量流量计及流量控制器:
◆精度更高,响应更快,带网口;
◆管状分流,不易堵塞;
◆适用于各种低压和高压管道;
◆预热时间短,零漂小,可靠性高;
◆模拟量可使用二次表或流量计算机控制和显示流量;
◆数字通讯RS485/232 Modbus、Profibus、Devicenet等协议可选。

  • 产品型号:ACU20FDH
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2024-05-23
  • 访  问  量:1267

详细介绍

背景简述:

-- 半导体工业用的气体统称电子气体。按其门类可分为纯气,高纯气和半导体特殊材料气体三大类。特殊

材料气体主要用于外延,掺杂和蚀刻工艺;高纯气体主要用作稀释气和运载气。

一、ACU20FD-LH 半导体设备电子气体质量流量计及流量控制器 产品概述:

1、精度更高,响应更快,带网口;

2、管状分流,不易堵塞;

3、适用于各种低压和高压管道;

4、预热时间短,零漂小,可靠性高;

5、模拟量输入/输出可使用二次表或流量计算机控制和显示流量;

6、数字通讯RS485/232 Modbus、Profibus、Devicenet等协议可选;


二、产品应用:

真空镀膜 / 太阳能、氢能等新能源 / 半导体 / 石油石化精细化工 / 电力冶金 / 环保

食品包装 / 生物医药 / 新材料 / 工业制作 / 各种分析仪器 / 制气配气系统


三、ACU20FD-LH 半导体设备电子气体质量流量计及流量控制器 产品参数:

量程范围:2SCCM~300SLM

准 确  度:±0.5%F.S

线       性:±0.5%F.S

重复精度:±0.2%F.S

响应时间:流量计:<0.1s;流量控制器:<0.2s

数 字  量:RS232/485,MODBUS协议 (Profibus、Devicenet等协议可选)

模 拟  量:0~5V、4-20mA、1~5V

供       电:±15VDC,24VDC

工作温度:0~50℃

工作压降:<0.01Mpa(流量计)

工作压差:0.1~0.5Mpa (流量控制器)

耐       压:3MPa/10MPa

漏       率:1×10-9SCCSHe

温度系数:±0.025%F.S/℃

底座材质:不锈钢

封材质:氟橡胶,氯丁橡胶,丁腈橡胶,聚四氟乙烯,FFKM/FFPM,金属密封等

接       头:φ3,φ6,1/8",1/4",3/8",1/2"… …卡套、VCR等。。。

如果所需性能要求与上述性能不同,可以沟通定制。






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