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气体纯化器提纯设备用质量流量计及控制器，由质量流量传感器，层流分层件，流量控制器调节阀和放大控制电路等部件组成。利用流动流体传递热量改变测量毛细管壁温度分布的热传导分布效应而制成。不受温度压力的影响。将传感器测得的流量信号进行放大，然后与设定的电压进行比较，用所得的差值去驱动控制调节阀门，闭环控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。
更新日期：2023-03-29
型号：ACU10FD-LH
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