在薄膜制作工艺中，某些金属有机化合物（MOCs）、氢化物、氨气等前驱体蒸气压远远低于标准大气压（760Torr），在常温下很难蒸发。这些前驱体需要被输送到化学气相沉积(CVD)反应器中，传统的方法是，使用溶剂/溶质化学和液体输送。某些固体前...

我司液体压力控制器配备了高性能传感器和数字电路板，可提供更高精度和性能的压力控制，通过调节设定值就能精准的控制整个工艺过程，除了标配的Modbus协议外，还支持Profibus、Profinet等协议。案例参数：介质：液体、入口压力：22M...

我司的压力控制器为直通式设计，量程范围从100Pa到40MPA（绝压和表压皆可）。此外，还可提供差压变送器。该系列仪表精确度高、重复性好，分为前压控制和背压控制两种。标配一个压电膜片式压力传感器和数字电路板，提供高精度、稳定、可靠的压力测量...

质量流量控制器（MFC）的毫秒级响应能力，源于其内部一个高度集成和优化的闭环控制系统。该系统的核心目标是让气体的实际流量瞬时且精确地跟踪设定值，其逻辑是一个持续运行的“测量-比较-校正”微循环。一、闭环控制逻辑的核心环节测量：MFC采用热式...

科里奥利质量流量计（CoriolisMassFlowmeter）简称科氏力流量计，是一种利用流体在振动管道中流动时产生与质量流量成正比的科里奥利力原理来直接测量质量流量的装置，由流量检测元件和转换器组成。科里奥利质量流量计实现了质量流量的直...

超临界流体，如超临界二氧化碳（SC-CO₂），凭借其独特的物理性质，在萃取、染色、发电和碳捕获等工业与科研领域应用日益广泛。然而，当其处于临界点附近时，微小的温度或压力波动都会引发密度、粘度等物性的剧烈变化，这给精确的流量测量带来了的挑战。...