适用于高压气体的质量流量计及流量控制器

随着新能源、半导体、石油化工、先进材料及科学仪器等领域不断的发展，高压气体在供气、输送、反应、储运及测试等环节的应用日益广泛。

在高压（数MPa至数十MPa）工况下，气体密度、流动状态等物性参数会发生明显变化，对流量测量与控制设备的耐压能力、测量精度及长期稳定性提出了更高要求。传统气体质量流量控制器受工作压力及结构设计限制，往往难以满足高压、高压差工况下的精准测控需求。

高压工况下，市面通用型质量流量控制器（MFC）面临哪些挑战？

1、工作压力通常仅1~3MPa范围以内，无法覆盖高压需求；

2、当压力升高时，高压差可能造成传感器测量漂移、阀门失控，无法有效控制流量，严重时甚至对内部结构造成损伤；

3、高压气体具有更高的密度和更复杂的流动特性，常规MFC在量程适配、测控精度等方面也容易受到影响。

4、高压应用对设备密封性能和机械强度提出了更严苛的要求。一旦密封或耐压结构设计不足，不仅会影响设备长期运行可靠性，还可能带来气体泄漏等安全风险；

因此，高压气体测控的核心已不仅是“测得准"，更需要兼顾高耐压、高稳定、高可靠与安全性。我们自主研发的高压气体质量流量控制器，采用热式原理测量气体的质量流量，不受温度、压力的影响，同时配合耐高压控制阀，实现对气体质量流量的精准检测与闭环控制，尤其适用于高压差、大压力范围及连续运行等严苛工况。

这款高压气体质量流量控制器的核心优势之一是高耐压，最大压差可达40MPa，突破传统MFC在高压应用中的压力限制，可覆盖从低压到高压的不同工作环境，在各个压力段均能实现稳定控制。采用管状分流结构设计，优化气体流通路径，使介质通过性更好，不易发生堵塞，有助于提升设备长期运行的稳定性。同时，产品具备预热时间短、零点漂移小、响应速度快、可靠性显著等特点，适用于需要高耐压且压差大的气体控制工况。

在通信兼容性方面，支持RS232/485Modbus通讯，并可定制DeviceNet、PROFINET、EtherCAT、PROFIBUS-DP 等多种工业通信协议，可灵活接入各类自动化控制系统。

     可广泛应用于各类高压气体测控场景，例如：

• 氢能与储氢领域：高压氢气供给/输送、氢能装备测试、固态储氢材料研发及氢能装备高压气体充装与测试、氢气循环及高压氢气输送流量控制；

• 超临界技术领域：CO₂超临界萃取/清洗、高压CO₂注入、超临界流体反应及高压气体精密供给；

• 石油天然气领域：页岩气/煤层气模拟、岩心驱替、油藏模拟、甲烷、CO2、N2等气体高压注入及油气装备测试；

• 化工石化领域：高压催化反应、精细化工实验中的高压工艺气体供给与流量控制；

• 新能源材料领域：电子材料研发、新能源材料制备、特种材料热处理、高压气氛热处理及材料性能测试；

• 科研与实验装备领域：高温高压反应釜、催化反应、超临界实验、高压气体实验平台的精准供气；

• 航空航天领域：空间环境模拟、航天推进实验、高压气体充注及及航空航天装备测试；

• 工业智能装备领域：高压气体供气、自动化设备气路控制、智能装备气体供应、工业过程气体流量控制；

• 仪器仪表领域：高压标准气体供给、仪器校准、流量仪表测试、泄漏测试及高压气体计量；

以及半导体周边的科研研发、先进封装、设备耐压测试等应用。

我们还可提供防爆定制方案：

针对高压、易燃易爆等特殊工况，ACCU还可提供本安防爆型高压气体质量流量控制器定制方案。该产品防爆等级可达到ExiaⅡCT6 Ga，防护等级达到IP65，同时具备40MPa耐压能力，在实现精准流量测量与控制的基础上，进一步提升设备在高压危险环境中的运行安全性。

如需沟通具体方案，请与页面的产品经理联系。