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工业生产过程中,流体介质的应用很广泛,例如半导体制造工艺,环保行业,生物医药,化学工业,以及电力系统,光伏材料、锂电池材料、氢能等新能源行业的应用,都离不开气体...
质量流量计是基于流体质量流量对振动管振荡的调节作用。传感器由振动管(测量管)、检波器、振动驱动器、支撑结构、外壳组成。质量流量计发展很快,且日益完善,越来越显示出其优越性。各种质量流量计已广泛应用于工业生产、商业计量和水利检测等方面,例如,...
质量流量计广泛应用于各行业领域,如:工艺制造、食品分析、分析性测试与计量等。多变量测量以及50:1量程可调比,使得仅用一台ACU10L液体流量控制器/流量计便可取代多台设备的功效。质量流量计的组成:包括传感器、变送器和显示单元三部分,传感器...
从科研实验到工业制造,很多涉及气体应用的行业都可能会使用混合型气体;而且在很多实际应用中,需要进行多种气体定量混合配气,将不同气体按一定的比例混合到一起,配出不同浓度、多种组分的工艺气体后才能更好的满足工艺性能的要求。对于单一组分的气体,选...
对于气体质量流量控制器MFC来说,在有些场景,例如半导体相关行业,分析仪器行业,科研实验场景等,需要对气体进行微流控制,使其流量很小,需要小于1SCCM,同时这种微流控制也需要较高的响应时间,因为流量很小,瞬间就会在气路中通过所需的流量,所...
气体是电子工业的“血液”,尤其在半导体、光伏、光纤、显示器等行业中是关键性材料。例如,在集成电路制造中气体的占比仅次于硅片,占晶圆制造成本的13%。主要应用于薄膜、刻蚀、掺杂、气相沉积、扩散等工艺。电子工业涉及的气体品种繁多,用途五花八门,...
质量流量计MFM、流量控制器MFC、以及电子压力控制器EPC是精度较高的流量仪表,在科研、医疗、食品、半导体及各行业工业领域有广泛应用。大多数工业应用的流量仪表产品是通过电流或电压模拟信号,或者数字通讯(Modbus、Devicenet,P...
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