质量流量控制器(MFC)装配有用于调节气体流量的电磁比例阀，通过比例阀控制流量的大小，由于控制阀的存在和工作，使系统阻力增加，因此在气体通过流量控制器时会有一定的压力损失，也就是流量控制器的入口和出口之间会产生一个气压下降的过程，即压力差。...

（一）流量计选型的五个因素可以从五个方面进行考虑，这五个方面为流量计仪表性能方面、流体特性方面、安装条件方面、环境条件方面和经济因素方面。五个方面的详细因素如下：1.仪表性能方面：准确度、重复性、线性度、范围度、流量范围、信号输出特性、响应...

差压式质量流量计通常利用泊肃叶定律来进行内部补偿层流(ICL)计算，通过测量气体经过某段管道内前后的压力差，即：压力损失，计算得出气体的体积流量，再换算到标准工况下的质量流量。流量与压差的关系如下：Q=(P1–P2)πr4/8ηLQ=体积流...