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当前位置：首页 > 产品中心 > 高温/蒸汽 流量计/控制器 > 高温型 质量流量计/控制器 > ACU20FDH-LH热式高温质量流量控制器半导体/光纤常用
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一、产品概述：热式高温质量流量控制器半导体/光纤常用
u可快速精确测量高温气体/蒸汽的体积流量/质量流量
u采用定制的高速比例控制阀对介质体积流量/质量流量进行精确控制
u超大可触显示屏，操作方便同时开放模拟输入输出和RS-485数字通讯
u内部无可移动组件和热元件，通过抗振动测试，对安装方向不敏感
u采用内部补偿型层流压差技术，使得大流量范围下流体仍旧保持层流运动
u提供良好的用户支持，包括技术咨询、快捷的设备校准服务和有条件的终身质保。
二、产品应用：
-- ACU20FDH-LH系列高温型质量流量计/控制器广泛应用于各行业领域，如：工艺制造、沉积设备等高温场景。
-- 多变量测量以及50:1量程可调比，使得仅用一台ACU20FDH-LH质量流量计&控制器便可取代多台设备的功效。
精度1%、重复性0.2%及不到200毫秒的控制响应时间，确保过程气体/蒸汽正常工作。
三、技术参数：热式高温质量流量控制器半导体/光纤常用
| 规格 | 量程范围 | 气体：100SCCM~30SLM 蒸汽：10SCCM~10SLM | |
| 精度（调零后标准条件下） | ±1%F·S | ||
| 重复性 | ±0.2%F·S | ||
| 零点漂移&满量程漂移 | 0.02%F·S/℃/Atm | ||
| 工作范围/量程可调比 | 2%~100%F·S/50：1 | ||
| 最大可测流量 | 100%F·S | ||
| 典型响应时间 | 200毫秒（可调整） | ||
| 启动预热时间 | ＜5秒 | ||
| 运行状况 | 最大工作压力 | 3 MPa / 10MPa | |
| 对安装方式/方向的要求 | ＞1L/min量程，阀门须垂直安装 | ||
| 阀门等级 | 阀门长闭 | ||
| 防护等级 | IP40 | ||
| 材质 | 不锈钢 | ||
| 信号 | 单色LCD显示屏 | 同时显示流量、设定 | |
| 数字输出信号 | RS-485/PROFIBUS | ||
| 模拟输入信号 | 0~5VDC/4~20mA | ||
| 模拟输出信号 | 0~5VDC/4~20mA | ||
| 电信号接口 | DB15 | ||
| 供电电压 | 24~30VDC | ||
| 供电电流 | 0.750Amp | ||
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