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热式高温质量流量控制器半导体/光纤常用

简要描述:ACU20FDH-LH系列 热式高温质量流量控制器半导体/光纤常用,多用于半导体或光纤等沉积设备相关场景, 采用定制的高速比例控制阀,可快速精确测量高温气体/蒸汽的体积流量/质量流量,精度1%.

  • 产品型号:ACU20FDH-LH
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2023-11-20
  • 访  问  量:651

详细介绍

            一、产品概述热式高温质量流量控制器半导体/光纤常用

u可快速精确测量高温气体/蒸汽的体积流量/质量流量

u采用定制的高速比例控制阀对介质体积流量/质量流量进行精确控制

u超大可触显示屏,操作方便同时开放模拟输入输出和RS-485数字通讯

u内部无可移动组件和热元件,通过抗振动测试,对安装方向不敏感

u采用内部补偿型层流压差技术,使得大流量范围下流体仍旧保持层流运动

u提供良好的用户支持,包括技术咨询、快捷的设备校准服务和有条件的终身质保。

二、产品应用:

        -- ACU20FDH-LH系列高温型质量流量计/控制器广泛应用于各行业领域,如:工艺制造、沉积设备等高温场景。

        -- 多变量测量以及50:1量程可调比,使得仅用一台ACU20FDH-LH质量流量计&控制器便可取代多台设备的功效。

精度1%、重复性0.2%及不到200毫秒的控制响应时间,确保过程气体/蒸汽正常工作。


三、技术参数热式高温质量流量控制器半导体/光纤常用


量程范围

气体:100SCCM~30SLM

蒸汽:10SCCM~10SLM

精度(调零后标准条件下)±1%F·S
重复性±0.2%F·S
零点漂移&满量程漂移0.02%F·S/℃/Atm
工作范围/量程可调比2%~100%F·S/50:1
最大可测流量100%F·S
典型响应时间200毫秒(可调整)
启动预热时间<5秒
运行状况    最大工作压力3 MPa / 10MPa
对安装方式/方向的要求>1L/min量程,阀门须垂直安装
阀门等级阀门长闭
防护等级IP40
材质不锈钢
信号单色LCD显示屏同时显示流量、设定
数字输出信号RS-485/PROFIBUS
模拟输入信号0~5VDC/4~20mA
模拟输出信号0~5VDC/4~20mA
电信号接口DB15
供电电压24~30VDC
供电电流0.750Amp
































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