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数字显示智能补气高精度气体压力调节器

简要描述:数字显示智能补气高精度气体压力调节器:
-- ACU20EP系列压力控制器配备高性能传感器和数字电路板,可提供更高精度和性能的压力控制,
-- 通过调节设定值就能精准的控制整个工艺过程,除了标配的Modbus协议外,还支持Profibus协议。

  • 产品型号:ACU20PC-LH
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2023-11-22
  • 访  问  量:901

详细介绍

一、ACU20P系列 数字显示智能补气高精度气体压力调节器 产品特点:

-- 标配一个压力传感器和数字电路板,提供高精度、快速稳定、可靠的压力控制,该PC数字板具有控制压力所需的所有功能。

-- 除了配备标准的RS485输出信号,ACU20P还提供模拟量输入/出信号,可通过调节设定值就能精准的控制整个工艺过程。

-- 可装配一体式控制阀或分体式控制阀。它是一种比例式电磁控制阀,具有超快和平稳控制的特性。


二、应用领域:

-- 半导体工艺,气相和液相色谱仪,MOCVD过程中蒸汽压力控制,挤塑成型过程中气体压力保护控制,高压釜/反应釜压力控制等。


三、ACU20P系列 数字显示智能补气高精度气体压力调节器  产品参数:

    (如所需性能与下述性能参数不同,请沟通定制。)

技术参数精度(包括线性和滞后性)≤±0.5%F.S
压力量程比压力计1:100
压力控制器1:50
重复性≤0.1%
传感器响应时间0.2s
控制稳定性≤±0.05%F.S(测定条件:1 L/min N2)
运行温度-10~+70℃
温度敏感性0.1%FS/℃
漏率1×10-9 SCCS He
方位影响度
(90°变化)
<0.03 KPa(绝压/表压传感器)
<0.6 KPa(差压传感器)
预热时间忽略不计

机械部件材质不锈钢
工艺连接G3/8"
密封材质氟橡胶/丁腈橡胶/氯丁橡胶/聚四氟乙烯/全氟/乙丙橡胶其他
防护等级(外壳)IP40

电气特性电源15~24Vdc
数字输出RS485/RS232、profibus协议、Devicenet协议等
电气连接DB9






























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