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自动补气Torr托尔级压力控制器EPC/压力计

简要描述:自动补气Torr托尔级压力控制器EPC/压力计:
-- 直通式设计,测量范围从100Pa 到 20MPA(绝压和表压皆可)。
-- 精确度高、重复性好,分为前压控制和背压控制两种。
-- 标配一个压电膜片式压力传感器和数字电路板,提供高精度、稳定、可靠的压力测量和控制。
该数字PC板具有测量和控制所需的所有基本功能。
-- 除了配备标准的RS485输出信号,还提供模拟I/O信号。

  • 产品型号:ACU20PC-LH
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2024-06-20
  • 访  问  量:1222

详细介绍

一、自动补气Torr托尔级压力控制器EPC/压力计 产品特点:

-- 测量范围从10Pa 到 20MPA(绝压和表压皆可)。

-- 精确度高、重复性好,分为前压控制和背压控制两种。

-- 标配一个压电膜片式压力传感器和数字电路板,提供高精度、稳定、可靠的压力测量和控制。

该基本数字PC具有测量和控制所需的所有基本功能。

-- 除了配备标准的RS485输出信号,还提供模拟I/O信号。

-- 可装配一体式控制阀或分体式控制阀。它是一种比例式电磁控制阀,具有超快和平稳控制的特性。

我们有不同系列的控制阀对应特定的应用领域。常规应用使用标准的直接操控阀,高流速应用使用先导阀。


二、应用领域:

-- 半导体工艺,气相和液相色谱仪,MOCVD过程中蒸汽压力控制,挤塑成型过程中气体压力保护控制,高压釜/反应釜压力控制等。


三、自动补气Torr托尔级压力控制器EPC/压力计 产品参数:如所需参数与下述列举不同,请另行沟通咨询)


技术参数

精度(包括线性和滞后性)

≤±0.5%F.S

压力量程比

压力计

1:100

压力控制器

1:50

重复性

≤0.1%

传感器响应时间

0.2s

控制稳定性

≤±0.05%F.S(测定条件:1 L/min N2)

运行温度

-10~+70℃

温度敏感性

0.1%FS/℃

漏率

1×10-9 SCCS He

方位影响度


(90°变化)


<0.03 KPa(绝压/表压传感器)

<0.6 KPa(差压传感器)

预热时间

忽略不计


机械部件

材质

不锈钢

工艺连接

G3/8"

密封材质

氟橡胶/丁腈橡胶/氯丁橡胶/其他

防护等级(外壳)

IP40


电气特性

电源

15~24Vdc

数字输出

RS485/RS232、Modbus、profibus、Devicnet等协议

电气连接

DB9

   





























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