ACCU邀您共赴SEMI-e深圳国际半导体展

无热漂移，可以忽略的温漂和时漂

量程范围：0~(20g/h-1000kg/h)

精度气体测量可达±0.5% F.S，液体可达±0.25% F.S

响应速度快、调节速度快

热式原理，响应快，精度高

准确精度：±0.5%F.S

管状分流，不易堵塞

模拟量输入/输出;同时带有485/232Modbus数字通讯，可选择DeviceNET，EtherCAT，Profibus-DP等协议。

可选配全氟橡胶密封，部分量程可选配金属密封。

量程范围：0~(2SCCM~500SLM)

准确精度：±0.5%F.S

可快速精确测量高温介质(液体、气体或蒸汽)的体积流量/质量流量

测量温度：-20℃~350℃左右

精度≤±(0.2~0.5)% F.S

该系列仪表精确度高、重复性好，单阀系列分为前压控制和背压控制(上、下游压力控制)

双阀压力控制器可稳定调节密闭容器压力

可选配置：

液体流量控制器(控制液态源流量)；

一台或多台气体流量控制器(控制载气流量);

温度可调的混合蒸发器(用于液体汽化);

流量、温度显示控制仪(设定流量或温度);

蒸发器出口可接入气体质量流量控制器，对产出的蒸汽进行稀释。

CEM 系统可独立实现液体流量、气体流量、蒸发温度的控制。也可通过 MODBUS 或 DEVICENET 等协议集中控制。

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