产品手册-ACU20FD-高精度质量流量计/流量控制器

      ACCU北京精量科技专业制造气/液体质量流量计和控制器，仪表根据客户实际工况和需求进行设计，

广泛用于各个行业对气\液体的质量流量进行精密测量和控制。

      在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研

和生产中有着重要的作用。其典型的应用场合包括：电子工艺设备，如扩散、外延、CVD、氧化、

等离子刻蚀、溅射、离子注入；燃料电池、电堆测试；制氢、储氢等：以及镀膜设备、光纤熔炼、

微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气象色谱仪以及其他分析仪器等。

ACU20FD 基本特性：

精度可达±0.5%F.S

重复性可达±0.2%F.S

响应速度快、调节速度快

可触摸显示屏

直接测量质量流量

自动温度补偿

集成PID控制器调节流量

所测量气体介质可手动切换

热式原理，响应快，精度高

管状分流，不易堵塞

适用于各种高低压管道

预热时间短，零漂小，可靠性高