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目前市场上测控一体的液体质量流量控制器,主要涉及两种原理,差压式及科式。其它原理的,比如热式的,必须要介质实标,而且流量要很微小,控制精度也不会很高,主要在半导...
对于气体质量流量控制器MFC来说,在有些场景,例如半导体相关行业,分析仪器行业,科研实验场景等,需要对气体进行微流控制,使其流量很小,需要小于1SCCM,同时这种微流控制也需要较高的响应时间,因为流量很小,瞬间就会在气路中通过所需的流量,所...
气体是电子工业的“血液”,尤其在半导体、光伏、光纤、显示器等行业中是关键性材料。例如,在集成电路制造中气体的占比仅次于硅片,占晶圆制造成本的13%。主要应用于薄膜、刻蚀、掺杂、气相沉积、扩散等工艺。电子工业涉及的气体品种繁多,用途五花八门,...
质量流量计MFM、流量控制器MFC、以及电子压力控制器EPC是精度较高的流量仪表,在科研、医疗、食品、半导体及各行业工业领域有广泛应用。大多数工业应用的流量仪表产品是通过电流或电压模拟信号,或者数字通讯(Modbus、Devicenet,P...
质量流量控制器不仅能检测总流量,并且能在检测时自动控制总流量。客户能根据本身的所需设置总流量。一般来说,这种质量流量计仅用作流量测量或监测。该流量控制器采用毛细管传热温差热法原理检测气体质量流量(无气温和负担应对)。传感器受热桥测得的总流量...
本文所述的小口径、微小流量液体流量控制器是指流道管径小于2”,流量小于2500Kg/h的小流量;尤其是对管径更小,而流量小于1Kg/h,或者1000ml/h的更小流量的控制。对于液体流量计(只测流量,不控制流量),市场上的种类很多,但是可以...
质量流量控制器(MFC)在控制气体流量时,由于需要通过控制流量控制阀的开度实现流量控制,所以需要满足一定的压差条件(即其进气端压力要比出气端压力大一定的数值),需要控制的流量越大,需要流量控制阀的开度就越大,这个压差值就需要越大(即当其出口...
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