ACU20FDR系列低压差气体质量流量控制器产品简介

在半导体和集成电路工业、特种材料、热处理、石油化工、环保和真空应用等众多制造与科研领域，气体的精准计量与稳定控制是保障生产质量的核心环节。

针对低压、大流量工况的测控，北京精量科技基于热式原理，自主研发、设计的ACU20FDR系列低压差气体质量流量控制器（MFC），用于测量和闭环控制气体质量流量。凭借独特的设计理念与优异的性能表现，提供了可信赖的气体流量测控方案。

ACU20FDR系列基于热扩散式与传感检测原理，由流量传感模块、温度补偿单元、高流通能力电磁阀、数字信号处理与通讯模块组成。按照电功率与气体的质量流量成正比的原理，结合温度传感器进行温度补偿，实现了高精度、快速响应的流量测量和控制，同时，配备了高流通能力电磁阀，使ACU20FDR系列更适合在几乎没有可用系统压力的条件下，精准控制气体流量，低压差控制将保证对系统产生最小影响，实现在接近大气压状态下的稳定控制。

核心优势：

高精度与宽量程：

ACU20FDR可实现较宽的控制比，其测量精度±0.5% F.S，重复性±0.2% F.S，可满足半导体镀膜、气相色谱、催化反应、真空热处理行业等对流量控制精度要求较高的场景。

快速响应：ACU20FDR预热时间短，响应速度快，可快速启动流体测量和控制工作。其高精度传感器和电路优化设计有效降低了零漂，提高了测量灵敏度与长期稳定性，保障连续运行下的数据可靠性。

扩展性强：

支持模拟量输入输出，可配置多类型工业通讯接口，支持RS232/485MODBUS、PROFIBUS等通讯协议，可外接显示单元，还能定制阀门与PID调节，方便远程控制和数据采集，拓展多场景适配能力。

应用案例：

ACU20FDR低压差质量流量控制器/流量计聚焦低压、大流量、高精度测控需求，已在多行业实现规模化应用，例如：

• 能源环保领域：其用于天然气计量或烟气分析，为碳排放监测提供可靠数据支撑。

• 催化裂化过程：用于控制反应器中的气氛流量，以优化燃料油的产量。

• 环境监测站：用于采样和分析空气中的有害气体，如PM2.5、挥发性有机化合物（VOCs）等。

• 气体渗碳炉：由于压力损失小的特性，低压供给富化气体流量难以控制的这一问题，也得到了相应的改善。炉内气氛控制提升，渗碳品质更稳定。

ACU20FDR系列低压差气体质量流量控制器/流量计以低压适配、高精度、快响应的特点，成为行业内低压场景的信赖之选。它不仅提升生产效率和产品质量，还满足了从研发到严苛工业环境的要求。面向愈加精密的制造需求，ACU20FDR正以稳健的技术性能，持续为客户提供值得信赖的流量测控支撑。

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