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40Mpa耐高压气体质量流量计及流量控制器

更新时间:2024-07-05      点击次数:146

      大部分的质量流量计,流量控制器的耐压程度在3Mpa或10Mpa左右,但是在一些应用中需要更高的压力,例如一些高压缩气体,高反应釜。。。经过我们多年的经验及开发测试,目前,气体质量流量计、流量控制器可以做到40~60Mpa的高耐压性能。具体参数如下:

       

量程范围:2SCCM~100SLM

测控范围:控制器阀控范围50:1(流量计量程比100:1) 

准确度 ±0.5%F.S(满量程)

线性 ±0.25%F.S

重复精度 ±0.2%F.S

响应时间 <0.2s <0.1s

温度系数 ±0.025%F.S/℃

工作温度 0~50℃

预热时间 30S可用,5Min达到最佳状态

工作压力 工作压差:0.1~0.5Mpa(高压差可定制) 工作压降:<0.01Mpa

最大耐压 20MPa~60Mpa

漏率1 x 10 Pa m3/S

底座材质不锈钢

接头 φ8,φ10,φ12,卡套或法兰安装

密封材质 氟橡胶,氯丁橡胶,丁腈橡胶,金属密封

外壳防护等级 IP40

安装位置 水平安装

电气连接 DB9孔, RJ11, 5.5×2.1电源快插

显示状态 带液晶显示、不带液晶显示

数字量 RS232/485,MODBUS协议,PROFIBUS协议

模拟量 0~5V、4-20mA、1~5V

供电 24VDC、±15VDC


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