欢迎来到北京精量科技有限公司网站!
咨询电话:15010116300

当前位置:首页  >  技术文章  >  使用MFC对气体进行微流控制

使用MFC对气体进行微流控制

更新时间:2023-07-19      点击次数:517

      对于气体质量流量控制器MFC来说,在有些场景,例如半导体相关行业,分析仪器行业,科研实验场景等,需要对气体进行微流控制,使其流量很小,需要小于1SCCM,同时这种微流控制也需要较高的响应时间,因为流量很小,瞬间就会在气路中通过所需的流量,所以如果MFC的响应时间太慢的话,流量控制就很困难。

       我司的高精度气体质量流量控制器MFC,最小量程可以做到2SCCM(满量程流量),可以控制到0.01SCCM,响应时间<200ms,很适合微流控制。

       对于这种微流控制,即使是用模拟信号操控,也需要选用数字款流量控制器(既带有数字信号,也带有模拟信号),其内部的处理方式是数字化芯片控制,而模拟款(只带有模拟信号)则只靠电路的线性控制,数字款MFC控制的更稳定、更精确,尤其是对微小流量气体的流量控制,会体现的更明显。

       以下是某客户定制的满量程为5ml/min的流量控制器,演示视频,客户要求流量微小流量控制到0.25ml/min。

            



版权所有©2024 北京精量科技有限公司 All Rights Reserved    备案号:京ICP备17013437号-2    sitemap.xml    管理登陆    技术支持:化工仪器网